PROJECT
無論對象是誰都徹底議論、擇善而從。
改變社會的技術將因此而生。
東京威力科創(TEL)以一半導體製造裝置廠商自居,目標成為真正的全球No.1企業,迄今不斷向市面推出人人認為難以達成的裝置與技術。目前就任顧問的保坂重敏於距今約25年前勇於挑戰劃時代性產品研發,他實實在在的展現了「TEL技術人員」的特質。
PROFILE
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顧問 保坂 重敏 Shigetoshi Hosaka
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某種金屬的成膜急遽加速半導體的進化。

某種金屬的成膜急遽加速半導體的進化。1990年代後期,半導體業界迎接了一個莫大的轉捩點。預見電腦爆發式的普及化,主作為電腦記憶裝置使用的「DRAM」半導體記憶體的需求急遽增加。為了讓電腦性能更高、價格更低,因此DRAM也追求更進一步的技術革新。
而掌握讓DRAM進化關鍵的正是「微細化」。當時普遍已知在DRAM的配線工程當中,只要讓進行某種金屬的成膜即能大幅增加性能。但是伴隨著維細化程度的增加,透過以往在半導體成膜工程中所採用的PVD(以物理機制使金屬沉積成膜的技術),變得難以使對象金屬在微細孔洞中均薄成膜。另一方面,如果是透過利用化學反應CVD的成膜方法,理論上應該可行。雖然半導體製造商殷切盼望創新技術,但業界普遍認知該技術極為困難,尚無人能成功實現該金屬的成膜。此時勇於上前挑戰的正是TEL,正是研發負責人保坂。

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與併購公司的美國技術人員間的協作。
徹底議論、擇善而從。

但是理想的實現並非一路順遂。透過CVD使該金屬成膜時,需要用700度高溫的腐蝕性氣體原料使其發生化學反應。這種化學反應有一個致命的問題,就是其產生大量的副產物會形成顆粒,大大減低半導體產品良率。同時還面臨副產物易附著於低溫處,使得裝置馬上失去功能的課題。也就是說勢必得開發兼備耐高溫性與耐蝕性的高階加熱器,穩定控制舉凡供氣花灑頭、真空反應室内空間甚至於排氣系統的溫度。但是世界上根本就不存在這種量產裝置,該怎麼做才能邁向成功?保坂如此說道,「專案成員們每天都大肆討論,不斷重覆試作與驗證。公司也提供龐大的研發費來支援。雖然這種成膜方法誰都沒做過,但是大家都相信以技術角度來說是可能實現的。」
研發走在半導體產業尖端的製造裝置,可謂是開拓未知領域的挑戰。如果吝於投入資金或人力,那麼就不會有革新等。保坂說,這就是TEL的作風。
保坂等人埋頭苦戰以求實現新技術,另一方面,研發速度也待提升,因此TEL決定戰略性併購擁有CVD成膜關鍵技術的美國半導體製造裝置廠商。擔任併購企業管理責任的保坂也數度遠赴美國出差。
「一開始,對方公司內部的技術人員很反彈。他們認為『為什麼要一個從日本來的陌生人來指揮我們?』。我與他們進行了徹底的溝通,詳細探究他們所擁有的技術。在溝通過程中,我以『你們的技術比較優異』『這項領域我們的技術比較前衛』的方式,說明自己不受立場或其他因素左右,只從技術角度來取決最好的。」無論議論如何糾解不合,保坂也絲毫不逃避,勇往直前地朝著未知的裝置邁進。保坂的這種態度也逐漸獲得併購公司技術人員的認同。
保坂回想當時的情況笑著說道,「有一次對方的技術人員對我說,『我從來沒看過像你這樣如此果斷說“不”的日本人』。我想,這應該算是對我的一種讚美吧。」

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承繼精神,
實現嶄新改革。

保坂在開發CVD成膜裝置上歷經的辛苦並不難想像。但是保坂為何能不斷累積貴重的經驗,持續挑戰困難呢?
「上司將這項專案現場的判斷權都交給我,讓我得以按照自己的想法自由進行研發。而我自己也深信這是絕對可能實現的技術,因此才能勇於往前邁進。只要技術人員不放棄,可能性就不會是零」。在保坂的指揮下,日美技術人員集結各自的智慧,成功研發出具耐蝕性,且能以適當的溫度控制來防止反應副產物附著的CVD系統。對於副產物的處理問題也開發出嶄新模式,刻意在裝置內配置低溫部位,一口氣讓副產物沉積。
1990年代後期,業界引頸企盼、獨步全球的CVD成膜裝置正式問市。CVD成膜裝置的出現,不但使得DRAM的微細化更加急遽發展,還大大推動電腦與數位機器的普及與通訊的高速化。現今人人均能輕鬆利用的智慧型手機,也都歸功於CVD成膜裝置所帶來的貢獻。而讓人類生活發生360度大轉變的技術,正出自於保坂等人之手。
其後,保坂晉升至統率整體企業研發部門的職位,他比照過往的經歷,同樣地將很多是都交由成員們自行判斷。「過去,有位成員曾提議『想在半導體裝置引進AI』。當時AI不像今日如此受到矚目,我本身也抱持懷疑的態度,但還是決定聽聽他們的說法。與他們經過徹底的討論過後,我瞭解到這是一項非常有展望的技術,因此決定交由他們著手研發。如果技術對於世界來說有它的價值,那麼就沒有不去挑戰的道理。實際上這項研發也取得成果,目前TEL就擁有幾項與AI相關的優秀專利」他自豪地說道。
過去,保坂總是對擔任專案的現場技術人員這麼說,「首先先自己思考決定。如果還是有困難再找我商量」「技術人員如果放棄,一切就結束了」。如今,年輕的技術人員仍承繼保坂的精神,並透過這種精神努力邁向嶄新的改革。

※此為約25前年的研發專案。近期的研發專案因涵蓋機密資訊不便公開,因此採用過去的研發專案進行介紹。但是無論過去或現在,我們對於研發的信念始終如一。希望大家能藉此感受到研發人員對於研發的信念。