FUTURE
由半導體領軍的不久將來與蝕刻技術的進步息息相關。
近年來半導體的製造工程中,技術創新最為卓越的就是蝕刻領域。蝕刻是指沿著晶圓表面燒成的電路,去除不必要部分的一項工程。半導体製造設備市場中,蝕刻設備的市佔率也在幾年內倍增。負責蝕刻設備開發和製造的宮城據點已完成新開發大樓,以提升產品競爭力。那麼,需求增長的背景因素是什麼? TEL採取什麼樣的策略和戰術來挑戰市場?從任職於蝕刻部門的二人的對話就可以感受到市場最前線的盛況。
PROFILE
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蝕刻系統業務企劃部
部長
樋口 公博 Kimihiro Higuchi
專門從事蝕刻系統的營銷。精通國內外市場需求和蝕刻技術創新的趨勢。
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蝕刻系統營業部
亞洲策略小組
組長
上打田內 健介 Kensuke Kamiuttanai
負責半導體市場熱絡的亞洲地區的銷售業務。與當地成員合作,提供能夠促成顧客技術創新的半導體生產設備。
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POINT1
挑戰微型化底線與大容量記憶體。答案在於蝕刻技術。

「生產高精度半導體的核心技術已從曝光技術轉變為蝕刻技術」。具備技術經驗、專精於蝕刻技術的樋口如此說明著。
「以往提高半導體性能的關鍵一直是微型化。 藉由設計具有較小線條的圖案,我們能夠集成高密度的電路」。
一直以來,加工減少線寬仰賴曝光便足夠。然而當需要設計寬度較窄,如光波長三分之一或四分之一的電路時,使用傳統方法便有其限制。為此而開發出多重圖形技術,充分利用了成膜和蝕刻的工程技術來實現微型化。
將經過一次曝光創造的線條分割為多種圖案以微型化。

「每一次曝光都需要重複多次成膜和蝕刻的過程,因此成膜設備和蝕刻設備的需求增加」。
負責亞洲業務的上打田內也談到聚焦在蝕刻領域的重要性。
「若使用傳統的曝光機,只要確實執行蝕刻和成膜的工程,仍然可以製造出高性能的半導體。因此,半導體製造商對蝕刻設備的投資正持續加速中」。

聚焦在蝕刻設備還有另一個原因。樋口表示,為了因應數據通訊量增加伴隨的儲存量增加,正持續進行半導體裝置的3D化。
「隨著智慧型手機和個人電腦的普及,存於雲端的數據量也不斷增加。有別於橫向積層,目前採取的集成化手段為縱向積層的3D化」。
這兩年積層數量已增加近兩倍,進展到90層之多。積層數增加會使成膜次數和蝕刻時間和次數增加,而所需的設備數量也會增加。
「不僅市場規模擴大,技術也越往尖端發展。尤其用於運算處理、名為ALE(原子層蝕刻)的一種邏輯裝置,需要細細地以數層原子層為單位進行蝕刻,會花上一些時間」(上打田內)。
若之後引進5G,將要求更高的通訊量和通訊速度。可以確定的是,用於數據儲存的伺服器側的儲存點,以及實現準時處理的裝置都需要記憶體,因此對半導體的運算處理能力的需求也逐漸增加。
對蝕刻設備的期待和需求正不斷增加。

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POINT2
追求最難技術的基因。

那麼,面對需求增加的蝕刻設備市場,TEL採取什麼樣的策略呢?
「TEL沒有與競爭對手製造相同產品的基因。」上打田內如此堅決地說。「我們的理念是研發產品時在功能方面做出區別性,即使成本較高也得這麼做。我們絕對不做削價競爭」。

因此我們常著眼於最難的工程。
「困難的工程或有挑戰的工程是最具有技術鑑別度的。對此給予最高的附加價值以進攻市場,在獲得正面評價的同時賺取獲利,是我們的策略」。
要比其他公司更快開發出最尖端的技術。為了做到這點,營業部門必須先確認顧客對於挑戰課題的堅持程度和開發所需的時間,以及業務上的優先程度。

「半導體技術創新可說是掌握在半導體生產設備製造商的手中。『要不要和我們聯手呢』製造商很常這麼說。但萬一結果跟競爭對手沒兩樣,讓顧客說『那把價格降低一些吧』,這對我們來說是沒有意義的。光是蝕刻就有好幾項工程需要進行,因此能夠區別出能夠發揮和不能發揮TEL技術的程序。若無法判斷是否能做出功能區別化,便直接拒絕其要求,這樣的情況也並不罕見」。
許多的半導體製造工程牽涉到幾乎所有的設備,這是其獨特的長處。

「將多個程序組合來解決問題,例如將蝕刻和成膜組合來生成圖案,能夠一步步促進程序整合。」樋口這麼說。
「整合各業務部門技術的想法也不斷地發展中。開發完成的技術由其他業務部門來加以活用,能夠促進開發的速度」。
關於與顧客的互動,上打田內時常將這樣的想法放在心上:「與對方的關係是否為雙贏」。「顧客至上是沒錯,但若是TEL無法獲利,便無法堅持將顧客的想法擺在第一。顧客不贏的話,就不會選擇我們。對於商業夥伴也是一樣的道理。彼此雙贏的局面是維持良好關係的條件」。

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POINT3
理所當然由最專業的人擔負重任,是公司一貫的作風。

「具最高附加價值的領域必須比其他公司發展地更快速」這樣的策略之所有會獲得成功,原因之一為TEL特有的「無論職權或職務,一律以最了解的人的判斷為優先」之風氣。
「比起由不清楚但有職權的人來判斷,不如交給最清楚的人來判斷,無論職權大小。這樣才是正確的做法。我們公司已經將這樣的想法當作理所當然」樋口表示。
例如,在一般公司擔任課長職務的上打田內目前經手一年約300億日圓規模的預算。他提到在TEL工作覺得最有趣的就是所處理的金額相當具規模。
進入公司第6-7年的員工也被交付重大的使命,那就是以未來200億日圓以上的投資效果為目標,建立能實現此目標的開發線,「被交付使命」這樣的重大性和一般公司似乎很不一樣。
然而,樋口補充說道「被交付使命和承擔責任是不一樣的」。
「雖然需要現場進行判斷,但若是壓力太大,便無法持續穩定工作。檢查是否有錯誤並承擔最後責任的是上級長官」。

能夠找任何人進行商量的氣氛是策略實行的一大支柱。
「就算是對公司中的董事,也很常以電子郵件或電話來商量事情。『出現了這樣的狀況,可不可以給予協助呢?』如此盡速且確實地接洽相關人員。當然,並不會出現『你去找上級長官吧』這樣的要求」。
以趁年輕時培養許多經驗這方面來說,我們公司也有很多進出海外的機會。上打田內在10年內被派駐到亞洲的3個據點後,剛回到日本。公司在中國、台灣、韓國、美國等地都有業務據點,進入公司第一年就派駐海外也是相當有可能。

TEL的基本理念為「透過最尖端的技術與確實的服務,貢獻於有夢想的社會發展」。
「全世界所有機器的操控都和半導體息息相關。IoT發展而使工廠的每台機器都具有數據傳輸功能,就能提升生產效率,也能夠節省能源。有了智慧型手機,全世界的人們就能獲得資訊,提升到 5G的通訊速度後,也能促進遠距治療的發展。半導體能作為世界中各項議題的解決手段,其能夠貢獻的領域可說是無遠弗屆。因為這些貢獻,我相信TEL的業務必定能夠持續擴展」(樋口)。