FUTURE
반도체가 이끄는 근미래는 에칭 기술의 진보에 달려 있다.
최근 반도체의 제조 공정에서 가장 기술 혁신이 현저한 것은 에칭 영역이다. 에칭이란 웨이퍼 표면에 새겨 넣은 회로를 따라 불필요한 부분을 제거하는 공정이다. 반도체 제조장치 시장에서도 에칭 장치의 시장 점유율이 몇년 사이에 배로 증가하였다. 에칭 장치의 개발, 제조를 하고 있는 미야기 거점에서는 신 개발동이 완성되어 제품 경쟁력을 높이고 있다. 그렇다면 수요가 확대되고 있는 배경에는 무엇이 있을까? TEL은 어떤 전략・전술로 시장에 도전하고 있는가? 최전선의 열기를 에칭 부문에서 일하는 두 사람의 이야기에서 느낄 수 있었다.
PROFILE
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에칭 시스템 사업기획부
부장
히구치 기미히로 Kimihiro Higuchi
에칭 시스템의 마케팅을 전임해서 한다. 국내외의 시장 수요 및 에칭 기술 혁신의 동향에 정통하다.
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에칭 시스템 영업부
아시아 전략 그룹
그룹 리더
가미웃타나이 겐스케 Kensuke Kamiuttanai
반도체 시장이 성황을 이루고 있는 아시아 지구의 영업을 담당. 현지 멤버와 연계하면서 고객님의 기술 혁신을 가능하게 하는 반도체 제조장치를 제공하고 있다.
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POINT1
미세화의 한계와 대용량 메모리. 해답이 되는 것은 에칭 기술.

“정밀도가 높은 반도체를 만들기 위한 핵심 기술은 노광 기술에서 에칭 기술로 시프트 했습니다.” 그렇게 설명하는 것은 기술자로서의 경험도 있고 에칭 기술에 정통한 히구치이다.
“지금까지 반도체의 성능 향상의 중점은 미세화였습니다. 보다 작은 선으로 패턴 설계를 함으로써 고밀도로 회로를 집적할 수 있었습니다.”
지금까지는 선폭을 작게 가공하는데 빛을 사용한 노광에 의존하는 것으로 해결됐었다. 그러나 빛의 파장의 삼분의 일, 사분의 일이라는 좁은 폭으로 회로 설계를 할 필요가 생겼을 때 종래의 방법에는 한계가 있었다. 거기에서 개발된 것이 성막 및 에칭 프로세스 기술을 구사하여 미세화를 실현하는 멀티 패터닝 기술이다.
한 번의 노광으로 만들었던 선을 더욱 세분하여 여러 개의 패턴으로 분할함으로써 미세화한다.

“한 번의 노광에 비해 성막과 에칭을 몇 번이나 반복하는 메커니즘이어서 성막 장치와 에칭 장치의 수요가 높아지고 있는 것입니다.”
아시아 담당의 가미웃타나이도 에칭 분야에 주력하는 것의 중요성을 이야기한다.
“종래의 노광기를 사용해도 에칭과 성막을 제대로 하면 성능이 높은 반도체를 만들 수 있습니다. 그래서 반도체 제조업체의 에칭 장치로의 투자가 가속화 되고 있는 것입니다.”

에칭 장치에 주력하는 이유는 또 하나가 있다. 히구치에 의하면 데이터 통신량의 확대에 수반하는 보존량의 증가에 대응하기 위해 반도체 디바이스의 3차원화가 진행되고 있다고 한다.
“스마트폰 및 PC가 보급되고 클라우드에 보존되는 데이터량은 계속 늘어나고 있습니다. 새로운 집적화의 수단으로서 가로가 아니라 세로로 적층하는 3차원화가 진행되고 있는 것입니다.”
최근 2년 사이에 적층수는 2배 가까이 늘고 90층 정도까지 진행되고 있다. 적층수가 늘어나면 성막 회수도 에칭 시간 및 회수도 늘어서 필요한 장치수도 늘어난다.
“시장 규모의 확대뿐만 아니라 기술도 고도화되어 있습니다. 특히 연산 처리에 사용되는 로직 디바이스에서는 ALE(원자층 에칭)라는 몇 원자층씩 조금씩 시간을 들여서 에칭을 하는 프로세스가 필요해지고 있습니다.”(가미웃타나이)
앞으로 5G가 도입되면 통신량과 통신 속도가 한층 더 요구된다. 데이터를 축적하기 위한 서버 측의 기억 장치, 그리고 정시간으로 프로세싱을 실현하는 디바이스. 쌍방에서 메모리가 필요한 것은 확실하며 반도체의 연산 처리 능력도 더욱 필요하게 된다.
에칭 장치에 대한 기대와 수요는 높아지기만 한다.

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POINT2
가장 어려운 기술을 목표로 하는 유전자.

그렇다면 수요가 높아지는 에칭 장치 시장에 대해 TEL은 어떤 전략으로 도전하고 있을까?
“경쟁업체와 같은 제품을 만드는 것은 TEL의 유전자에는 없습니다.”라고 가미웃타나이는 단언한다. “성능에서 차별화하고, 비용을 들여도 필요하다고 생각할 수 있는 상품을 만들어 내는 것이 우리들의 콘셉트입니다. 싸게 파는 경쟁은 하지 않습니다.”

그래서, 항상 가장 어려운 공정을 목표로 한다.
“어려운 공정, 과제가 있는 공정이 가장 기술을 차별화할 수 있다고 생각하고 있기 때문입니다. 거기에 최고 부가가치를 부여하여 시장을 공략하고 정당한 평가로써 이익을 얻는다는 전술입니다.”
최첨단의 기술을 누구보다도 빨리 개발한다. 그러기 위해서는 영업이 과제에 대한 고객님의 진심의 정도 및 개발에 걸리는 시간, 사업으로서의 우선도를 판별할 필요가 있다.

“반도체의 기술 혁신은 반도체 제조장치 제조 업체에 달려있다고도 말할 수 있습니다. ‘저희와 함께 하지 않겠습니까?’라는 이야기를 많이 듣습니다만, 경합과 같은 결과 밖에 내지 못해서 ‘그럼 가격을 내려 주십시오.’라는 말을 들어야 한다면 의미가 없습니다. 에칭만으로도 여러 가지의 공정이 있으므로 TEL의 기술이 적합한 프로세스, 그렇지 않은 프로세스를 판별합니다. 성능 차별화를 할 수 없다고 판단한 경우, 거절하는 경우도 드물지 않습니다.”
많은 반도체 제조 공정의 거의 모든 장치를 다루고 있기 때문에 가지는 강점이다.

“에칭과 성막이 세트로 패턴을 만드는 것처럼 여러 개의 프로세스의 조합으로 과제를 해결하는 프로세스 통합이 늘어가고 있습니다.”라고 말한 것은 히구치이다.
“각 사업부가 가지고 있는 기술을 접목하자라는 생각도 진행되고 있습니다. 개발한 기술을 다른 사업부에서 활용함으로써 개발 스피드의 향상으로도 이어집니다.”
고객님과의 거래에서 가미웃타나이가 항상 염두에 두고 있는 것은 ‘상대와의 관계가 Win-Win이 되고 있는가?’라는 것이다. “고객 제일이긴 하지만 TEL도 이익을 내지 않으면 고객 제일을 이어갈 수 없습니다. 고객님도 Win이 없으면 저희를 선택해 주지 않습니다. 거래처에 대해서도 마찬가지입니다. 좋은 관계를 이어 나가려면 서로 Win-Win이 필요조건이라고 생각합니다.”

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POINT3
가장 잘 알고 있는 사람에게 맡기는 것이 당연하다는 사풍.

‘최고 부가가치가 있는 영역을 누구보다도 빨리’라는 전략이 성공하고 있는 요인 중 하나로 ‘권한이나 직책에 관계없이 가장 잘 알고 있는 사람의 판단을 최우선으로 한다’라는 TEL만의 풍토가 있다.
“잘 모르고 권한만이 있는 인간이 판단하는 것보다도 권한의 대소에 상관없이 알고 있는 인간이 판단한다. 그 편이 정확하죠. 저희 회사에서는 당연한 감각입니다.”라고 히구치는 말한다.
예를 들면 일반 회사에서 과장직에 해당하는 가미웃타나이는 연간 약 300억 엔 규모의 예산을 움직이고 있다. TEL에서 일하면서 가장 재미를 느끼는 것은 취급하는 금액의 규모감이라고 한다.
입사 6-7년째의 사원에게 장래 200억 엔 이상의 투자 효과가 예상되는 개발 라인을 만드는 선두 자리를 맡기고 있다는 것으로부터 ‘맡겨진다’의 스케일이 보통의 회사와는 조금 다를지도 모른다.
그러나, “맡기는 것과 책임을 지게하는 것과는 다르다.”라고 히구치가 말을 더했다.
“현장이 판단하도록 하지만 너무 스트레스를 주면 좋은 일로는 이어지지 않는다 정말 문제가 없는지를 체크해서 마지막에 책임을 지는 것은 윗사람입니다.”

누구에게라도 상담할 수 있는 분위기도 전략 실현을 뒷받침하고 있다.
“임원에게도 메일 및 전화로 상담을 자주 합니다. ‘이런 상황인데 협력해 주시겠습니까?’라고. 필요한 사람에게 직접 접속하는 것이 빠르고 확실. 물론 ‘상사를 통해서 해.’라는 말은 들어본 적이 없습니다.”
젊었을 때부터 많이 경험할 수 있다는 점에서는 해외로 나갈 기회도 많다. 가미웃타나이는 아시아 3군데에서의 주재를 마치고, 약 10년 만에 일본에 돌아온 참이다. 중국, 대만, 한국, 미국에 많은 영업이 주재하고 있고 입사 1년째의 해외 근무도 충분히 있을 수 있다.

TEL에는 ‘최첨단 기술과 확실한 서비스로 꿈이 있는 사회 발전에 공헌하겠습니다’라는 기본 이념이 있다.
“전 세계 온갖 물건의 제어에 반도체가 관련되어 있습니다. IoT가 발전하고 공장의 기계 1대 1대에 데이터 발신 기능이 부착되면 생산성을 높이고, 에너지 절약으로 이어지는 것이 가능합니다. 스마트폰이 있으면 전 세계의 사람들이 정보에 접속할 수 있고 5G로 통신 속도가 빨라지면 원격 치료에 공헌할 수 있습니다. 전 세계의 과제를 해결하는 수단으로서 반도체가 도움이 되는 장면은 무한대입니다. 거기에 공헌할 수 있는 한 TEL의 비즈니스는 계속해서 확대될 것이라고 확신하고 있습니다.”(히구치)