PROJECT
无论对方是谁,都彻底讨论,
进行最佳的选择。
改变社会的技术由此诞生。
东京威力科创(TEL)作为半导体制造装置厂商,目标是成为真正的全球No.1企业。TEL已经陆续向社会推出过去人们认为困难的革新性装置和技术。现在担任顾问的保坂重敏在距今约25年前,挑战了开发对于当时的半导体行业来说的划时代性产品。他正是体现了“TEL的技术人员”。
PROFILE
photo
顾问 保坂 重敏 Shigetoshi Hosaka
photo
photo
某种金属的成膜急剧加速半导体的进化。

某种金属的成膜急剧加速半导体的进化。20世纪90年代中期,半导体行业迎来了巨大的转机。个人电脑呈现出爆炸性普及的苗头,主要用于计算机存储装置、被称为DRAM的半导体存储器的需求也获得急剧增长。为了让计算机实现更高性能、更低价格,对于这一DRAM也要求进一步的技术革新。
为了使DRAM取得进化,关键在于“细微化”。
当时得知在DRAM的布线工序中,将一种金属成膜的话,性能会显著提升。但是,随着细微化的发展,如果使用过去在半导体的成膜工序中采用的PVD(物理敲打金属成膜的技术),难以让目标金属在细孔中微薄、均匀地成膜。另一方面,如果是通过CVD这一化学反应成膜的方法,理论上是可以做到这点的。虽然半导体厂商殷切期望,但是当时还没有人能够实现这种金属,行业人士普遍认为,这在技术上非常困难。而特意对其进行挑战的正是TEL,正是开发负责人保坂。

photo
photo
与收购对象的美国技术人员进行协作。
彻底讨论,追求最佳的选择。

但是,在实现前遇到了巨大的障碍。使用CVD为该金属成膜需要在700度的高温下使用腐蚀性气体原料,使其发生化学反应。并且棘手的是,这一化学反应会产生大量副产物,形成颗粒,使半导体的良品率大幅度降低。还有一个课题是温度低的话,会到处附着,马上会让装置的功能失效。
也就是说,必须开发同时具有高水平的耐高温性和耐腐蚀性的电热器,从供给气体的喷头到真空反应室内,以及排气系统都必须进行稳定的温度控制。这样的量产装置是前所未有的。如何才能让其实现呢?
保坂说:
“每天和项目成员们进行七嘴八舌的讨论,埋头反复试制和验证。公司也投入许多研究开发费用,为我们提供支持。因为虽然没有人做到过,但是大家都相信,在技术上是有可能实现的。”
制造装置的研究开发肩负着半导体产业的最先进技术,正是开拓未知领域的挑战。如果吝于投资或投入人手的话,是无法产生创新等的。保坂说,这正是TEL的作风。保坂等人在努力奋斗的同时,逐渐确立了技术。另一方面,为了提高开发的速度,TEL决定战略性收购拥有CVD成膜的重要技术的美国半导体制造装置厂商。保坂还担任了收购方企业的管理,屡次去往美国公司出差。
“一开始对方的技术人员心存反感。‘我们为什么要听一个从日本来的不怎么熟的人所说的话呢?’于是,我和他们敞开心扉交谈,详细明确了他们拥有的技术。在谈话中,我向他们说明‘你们的这项技术很优秀’,‘这一领域我们更加领先’。我的认识与立场等没有关系,只是想着对技术来说什么才是最好。”
无论再怎么争论不休,保坂都没有逃避,他为了实现这一未知的装置,勇往直前地奋进。收购方企业的技术人员们也逐渐认可了保坂的这一态度。
“对方的技术人员曾经对我说过:‘从来没有见到过像你这样能够明确说‘NO’的日本人’。这肯定是对我的一种赞许。”保坂回顾当时的情况,笑着说道。

photo
精神获得继承,并且促进新的创新。

不难想象,在开发这一CVD成膜装置时,保坂经历了千辛万苦。为什么保坂能够在重重艰辛中持续挑战困难呢?
“关于这一项目,领导委托我进行现场的所有酌情处理,以自己想要做的方式推进了开发。我自己确信这是绝对能够实现的技术,所以钻研到底。只要技术人员不放弃,可能性就不会成为零。”
在保坂的指挥下,汇集了日美技术人员们的智慧,为了具有耐腐蚀、反应副产物不会附着,开发了妥善进行温度控制的CVD系统。此外,关于副产物的处理这一过去的课题,研究出了一种全新的机制,即通过特意在装置内设置低温的地方,将副产物一下子堆积在一起。
到了20世纪90年代后半期,终于领先世界推出行业期待已久的CVD成膜装置。其结果,DRAM的细微化急剧提升,这为个人电脑和数字设备的普及及通信的高速化提供了巨大的支持。现在我们能够轻松地利用智能手机,追溯其起源的话,这一CVD成膜装置可谓作出了巨大的贡献。保坂等人创造出了令人们的生活发生巨大改变的技术。
之后,保坂担任了领导企业的整个研究开发部门的职位,正如过去自己被管理时一样,他给予了员工们巨大的酌情处理权。“过去,一名员工提议‘想要在半导体装置中引进AI’。当时AI不如现在这样引人注目,我自己也有所怀疑,但是我决定听他们解说。和他们进行彻底的讨论后,我了解到这是一项非常有希望的技术,于是决定将开发交给他们。如果技术对社会来说有价值的话,没有理由不去挑战。实际上也取得了成果,TEL也拥有若干与AI相关的优秀专利。”他自豪地讲述道。
据说保坂一直对负责项目的现场技术人员们这样说:“首先自己去思考决定。但是如果有疑惑就跟我说。”“技术人员放弃的话,就等于是结束了。”
保坂的精神现在被年轻的技术人员们继承,由此还将产生新的创新。

※本开发项目是约25年前的项目。由于最近的开发项目中包含了机密信息,无法公开信息,因此介绍了过去的开发项目。但是,无论是过去还是现在,对于开发的想法都没有发生变化。希望各位能够感受到开发者对于开发的想法。