FUTURE
半导体引领的近期未来依靠蚀刻技术的进步。
近年来,在半导体的制造工序中,技术革新最为显著的是蚀刻领域。蚀刻是指沿着晶圆表面镀出的线路,去除多余部分的工序。在半导体制造装置市场中,蚀刻装置的市场份额在近年来翻了一番。在开发、制造蚀刻装置的宫城网点中,建成了新的开发楼,提高了产品竞争力。那么,需求扩大的背景中存在哪些因素呢?TEL将通过怎样的战略、战术挑战市场呢?
从在蚀刻部门工作的两人的介绍中,可以感觉到一线的热情。
PROFILE
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蚀刻系统事业企划部
部长
樋口 公博 Kimihiro Higuchi
专职从事蚀刻系统的市场营销。精通国内外的市场需求和蚀刻技术革新的动向。
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蚀刻系统营业部
亚洲战略小组
小组长
上打田内 健介 Kensuke Kamiuttanai
负责半导体市场呈现繁荣景象的亚洲地区的营业活动。在与当地员工进行合作的同时,提供使顾客的技术革新得以可能的半导体制造装置。
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POINT1
细微化的极限与大容量存储器。
得出解答的是蚀刻技术。

“为了制造精度高的半导体,核心技术从曝光技术转变为蚀刻技术。”拥有作为技术人员的经验,同时还精通蚀刻技术的樋口如是说道。
“过去提高半导体性能的关键是细微化。使用更小的线进行图形设计,能够高密度地集成电路。”
过去为了将线的宽度加工得很窄,依赖使用光的曝光就足够了。但是,需要以光的波长的三分之一、四分之一的窄度设计电路时,过去的方法遇到了极限。因此开发了运用成膜和蚀刻的工艺技术实现细微化的多重曝影(Multi-Patterning)技术。
将通过一次曝光制造的线再次分割为细小的多个图形,由此实现细微化。

“因为这是针对一次曝光,反复进行多次成膜和蚀刻的机制,所以成膜装置和蚀刻装置的需求也在提高。”
负责亚洲地区的上打田内介绍了致力于蚀刻领域的重要性。
“即使使用过去的曝光机,只要仔细进行蚀刻与成膜,也能制造出高性能的半导体。因此,半导体厂商正在加速对蚀刻装置的投资。”

另外还有一个致力于蚀刻装置的理由。据樋口所言,为了应对伴随数据通信量增大造成的保存量增加,半导体设备正在推进三维化。
“智能手机和PC普及,保存于云的数据量不断增加。作为进一步集成化的手段,正在推进纵向堆叠,而非横向的三维化发展。”
这2年的堆叠数量增加了将近2倍,达到了约90层。堆叠数量增加的话,成膜次数及蚀刻时间和次数都会增加,必要的装置数量也会增加。
“不光是市场规模扩大,技术也得到高度发展。尤其是在用于运算处理的逻辑设备中,逐渐开始需要ALE(原子层刻蚀),即花费时间对数个原子层逐渐进行蚀刻的工艺。”(上打田内)
今后5G被导入后,要求更大的通信量和更高的通信速度。无论是服务器方用于存储数据的存储空间,还是实现按时加工的设备,都必然会需要存储器,而且还会越来越需要半导体的运算处理能力。
对蚀刻装置的期待与需求正在不断提高。

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POINT2
追求最难技术的基因。

那么,面向需求提高的蚀刻装置市场,TEL以怎样的战略进行挑战呢?
“TEL没有与竞争对手制造同样产品的基因。”上打田内斩钉截铁地说道,“我们的理念是通过性能形成差异化,即使花费成本,也要创造出让人们认为是必需品的商品。我们不进行降低价格的竞争。”

所以,一直追求最困难的工序。
“因为我们认为,困难的工序、具有课题的工序是最能够使技术形成差异化的。在为其加入最高附加价值后进军市场,作为正当的评价来获取利润,这便是我们的战术。”
最早开发最先进的技术。为此,营业人员需要分辨出顾客对于课题的认真程度、开发花费的时间、作为事业的优先度。

“半导体制造装置厂商可谓是掌握着半导体的技术革新。虽然许多半导体厂商与我们协商‘要不要一起合作’,但是如果只能做出和竞争对手一样的结果,对方提出‘那么请降低价格’的话,就没有意义了。光是蚀刻就存在若干工序,因此需要分辨TEL的技术适合的工艺与不适合的工艺。
在判断性能上无法形成差异化时,拒绝对方请求也并不罕见。”
这一优势正是源自TEL参与了多个半导体制造工序的几乎所有装置。

“现在将多个工艺组合在一起解决课题的工艺集成正在逐渐增加,例如将蚀刻和成膜配套来制造图形等。”樋口如是说道。
“我们还在推进将各个事业部拥有的技术结合在一起的想法。通过将开发的技术应用于其他事业部,还能提高开发速度。”
在与顾客的交易中,上打田内一直考虑的是“和对方的关系是否达到了Win-Win”。“虽然说是顾客至上,但是如果TEL无法产生利润的话,就不能持续做到顾客至上。而顾客不能Win的话,也不会选择我们。这对交易方来说也是一样的。我认为为了持续保持良好关系,相互Win-Win是必要条件。”

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POINT3
理所当然委任给最了解情况的人的公司氛围。

“最早占据拥有最高附加价值的领域”这一战略成功的原因之一是TEL独特的公司氛围,即“无论权限、职务如何,最为优先最了解情况的人的判断”。
樋口说:“比起由不了解情况、只有权限的人来进行判断,不如由真正了解情况的人来进行判断,而不在乎权限大小。这样才是正确的做法吧。在我们公司当中,这是理所当然的感觉。”
例如,上打田内的职务相当于普通公司的课长职务,但是他一年可以运用约300亿日元规模的预算。据他所说,在TEL工作感觉最有意思的是可动用金额的规模感。
入职6至7年的员工也能被任命为带头人,建立将来有望取得200亿日元以上投资效果的开发生产线,因此“被委托”的规模与普通的公司或许稍许有些不同。
但是,“委托工作和被咎责是不一样的。”樋口补充道。
“虽然是让现场进行判断,但是如果压力太大的话,也无法做好工作。检查是否真正没有错误,最后负责的是领导。”

和任何人都能进行商量的氛围为战略的实现提供了支援。
“通过邮件或电话和董事商量也是普遍的情况。‘因为是这样的情况,所以能否提供协助?’直接向必要的人进行沟通才能做到又快又准确。当然,对方也不会说‘通过领导来找我’。”
从年轻的时候能够拥有许多经验这点来说,去往海外的机会也很多。上打田内经过被外派至亚洲3个地方,过了约10年时间终于再次回到日本。许多营业人员被外派至中国、台湾、韩国、美国,入职第1年很有可能在海外工作。

TEL的基本理念是“通过最先进的技术和可靠的服务,为充满梦想的社会发展作出贡献”。“半导体与世界上所有物体的控制都相关。IoT得到发展,为工厂的每台机械设备加入数据发送功能的话,能够提高生产率、促进节能。只要有智能手机,全球的人们就能够访问信息,而如果5G使通信速度提高的话,还能够为远程治疗作出贡献。作为解决全球科技的手段,半导体有无数发挥作用的场景。我深信,只要能够为其作出贡献,TEL的业务会取得持续扩大。”(樋口)